温馨提示：由于个人手机设置不同，如果发现不能下载，请复制以下地址【https://www.wenke99.com/d-10005365.html】到电脑端继续下载（重复下载不扣费）。
1: 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。 2: 试题试卷类文档，如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案，请知晓。 3: 文件的所有权益归上传用户所有。 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。 5. 本站仅提供交流平台，并不能对任何下载内容负责。 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
本文（现代加工技术-微细加工技术ppt课件.ppt）为本站会员（晟***）主动上传，文客久久仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对上载内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私，请立即通知文客久久（发送邮件至hr@wenke99.com或直接QQ联系客服），我们立即给予删除！
第七章 微细加工技术现代设计与集成制造技术教育部重点实验室 第七章 微细加工技术ji2222 n 7.1 微机械与微细加工概述 n 7.2 硅微细加工技术 n 7.3 光刻加工技术 n 7.4 LIGA 技术和准LIGA 技术 n 7.5 微细电火花加工 n 7.6 微细切削加工技术 n 7.7 薄膜气相沉积技术现代设计与集成制造技术教育部重点实验室 7.1 微机械与微细加工概述 7.1.1 微机械 微机械或微机电系统（MEMS ）是指具有很小外形轮 廓尺度的微型机械电子系统。 随着微/ 纳米科学与技术的发展，以形状尺寸微小或操 作尺度极小为特征的微机械成为人们在微观领域认识和 改造客观世界的一种高新技术。 一般认为，微机械依其特征尺寸可以划分为：小型机 械（1mm-10mm ），微型机械（1um-1mm ）以及纳米机 械（1nm-1um ）。从广义来讲，微机械包括微小型机械 和纳米机械。现代设计与集成制造技术教育部重点实验室 微机械的基本特征： （1）体积小、重量轻、精度高。 （2）能耗小、响应快、灵敏度高。 （3）性能稳定、可靠、一致性好。 （4）多功能化和智能化。 （5）适于大批
Copyright © 2018-2021 Wenke99.com All rights reserved
工信部备案号：浙ICP备20026746号-2
公安局备案号：浙公网安备33038302330469号
本站为C2C交文档易平台，即用户上传的文档直接卖给下载用户，本站只是网络服务中间平台，所有原创文档下载所得归上传人所有，若您发现上传作品侵犯了您的权利，请立刻联系网站客服并提供证据，平台将在3个工作日内予以改正。
