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电 子 显 微 镜 的 分 类 及 应 用一、电子显微镜的特点和分类 二、电子显微镜的应用领域 主要内容电子显微镜 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 （通常用的） （SEM ） （TEM ） 电子显微镜的分类透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透 镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。 透射电子显微镜的成像原理 透射式电子显微镜镜筒的顶部是电子枪，电子由钨丝热阴极发射出、 通过第一，第二两个聚光镜使电子束聚焦。电子束通过样品后由物镜 成像于中间镜上，再通过中间镜和投影镜逐级放大，成像于荧光屏或 照相干版上。中间镜主要通过对励磁电流的调节，放大倍数可从几十 倍连续地变化到几十万倍；改变中间镜的焦距，即可在同一样品的微 小部位上得到电子显微像和电子衍射图像。（来自百度文库） 电子枪工作原理 照明系统光路图透射电子显微镜的结构 透射电子显微镜 照明系统 成像系统 观察记录系统 由机械泵和扩散泵完成 新型电镜用离子泵提高真空速度 电子枪加速电子用小电流高电压电源 透镜激磁用大电流低压电源 EDS （能量散射光谱仪） WDS EELS 电子光学系统 真空系统 供电控制
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