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电子能量损失谱仪 在材料科学中的应用 段晓峰 中国科学院电子显微镜重点实验室 中国科学院物理研究所凝聚态物理中心电子与样品的相互作用电子与样品的相互作用电子的非弹性散射电子与样品的相互作用:原子散射截面 Inelastic scattering透射电镜和电子能量损失谱仪 Project crossover扫描透射电镜和电子能量损失谱仪 调整 EELS 位置的3 种途径 1 磁棱镜 energy shift 2 高压 mapping 3 Drift tube EELS像模式光路图衍射模式光路图EELS 的聚焦和AC杂散磁场补偿 聚焦和补偿：0 峰变高变窄和稳定 CCD 的尺寸： 1K x 1K 2K x 2K 动态范围： 14 比特： 016383 16 比特： 065535 冷却1 小时以上 避免使用强电 子束照射: 零损 失峰，透射斑 CCD结构示意图EELS包含的信息等离子激发 The main exci- tation allowed for core elec- trons obeys the dipole selection rule: K-edge absorption L
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