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精选优质文档-倾情为你奉上扫描电子显微镜知识AZ / SEM的构造扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope：SEM）是观察样品表面的装置。用很细的电子束（称为电子探针）照射样品时，从样品表面会激发二次电子，在电子探针进行二维扫描时，通过检测二次电子形成一幅图像，就能够观察样品的表面形貌。SEM的构造装置的结构SEM由形成电子探针的电子光学系统、装载样品用的样品台、检测二次电子的二次电子检测器、观察图像的显示系统及进行各种操作的操作系统等构成（图1），电子光学系统由用于形成电子探针的电子枪、聚光镜、物镜和控制电子探针进行扫描的扫描线圈等构成，电子光学系统（镜筒内部）以及样品周围的空间为真空状态。图1 SEM的基本结构图2 电子枪的构造图电子枪电子枪是电子束的产生系统，图2是热发射电子枪的构造图。将细（0.1 mm左右）钨丝做成的灯丝（阴极）进行高温加热（2800K左右）后，会发射热电子，此时给相向设置的金属板（阳极）加以正高圧（130kV），热电子会汇集成电子束流向阳极，若在阳极中央开
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