X 射线光电子能谱分析XPSXPSX-rays Photoelectron SpectroscopyESCAElectron Spectroscopy for Chemical Analysis1.X 射线光电子能谱仪发展历史爱因斯坦：光电效应 50年代，K.Siegbahn 研制成功XPS 谱仪 60年代，发展成为商用仪器 主要：PHI 公司，VG 公司，Karatos 公司 发展方向：单色化，小面积，成像XPS一、概述2.仪器功能与特点：（1）定性分析- 根据测得的光电子动能可以确定表面存在哪些元素。灵敏度约0.1at% 。（2）定量分析- 根据具有某种能量的光电子的强度可知某种元素在表面的含量。误差约20% 。（3）根据某元素光电子动能的位移可了解该元素所处的化学状态，有很强的化学状态分析功能。（4）由于只有距离表面几个纳米范围的光电子可逸出表面，因此信息反映材料表面几个纳米厚度层的状态。（5）结合离子溅射可以进行深度分析。（6）对材料无破坏性。（7）由于X 射线不易聚焦, 照射面积大,不适于微区分析。一、概述1.XPS 的产生当单色的X 射线照射样品, 具有一定能量的入射光子同
