5.1 电容式传感器的工作原理和结构5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性5.3 电容式传感器的测量电路5. 电容式传感器的应用 第5章 电容式传感器返回主目录第5章 电容式传感器5.1 电容式传感器的工作原理和结构 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器,如果不考虑边缘效应,其电容量为式中: 电容极板间介质的介电常数, =0r,其中0为真空介电常数,r为极板间介质相对介电常数;A 两平行板所覆盖的面积; d两平行板之间的距离。 当被测参数变化使得式（5-1）中的A#,d 或 发生变化时,电容量C 也随之变化。如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。因此, 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。一、 变极距型电容传感器 图5-1为变极距型电容式传感器的原理图。当传感器的r 和A 为常数, 初始极距为d0时, 由式（5 - 1）可知其初始电容量C0为 若电容器极板间距离由初始值d0缩小d, 电容量增大C,则有C1=C0+C= 由式（5-3）可知, 传感器的输出特性C=f(d) 不是
