XX射线射线光电子能谱光电子能谱(XPSXPS)2013-10 2013-10表面分析表面分析The Study of the Outer-Most Layers of Materials (100 ). The Study of the Outer-Most Layers of Materials (100 ).n n Electron Spectroscopies Electron Spectroscopies XPS: XPS: X- X-光电子能谱 光电子能谱 AES: AES: 俄歇电子能谱 俄歇电子能谱 EELS: EELS:电子能量损失谱 电子能量损失谱福州大学测试中心XPS仪器简介X-X-射线光光电子能谱射线光光电子能谱 (XPS)(XPS)n nXPS XPS 的物理的物理基础基础n n结合能与结合能与化学位移化学位移n nXPS XPS 谱的一般谱的一般特性特性n nXPSXPS在不同领域的应用在不同领域的应用n nXPSXPS光谱仪及光谱仪及新技术发展新技术发展介绍介绍1. H. Hertz, Ann. Physik 31,983 (1887).2. A. Ein