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精选优质文档-倾情为你奉上微纳光学加工及应用 孙奇一、 微纳光学结构光是一种电磁波，是由同相相互垂直的电场与磁场在空间中以波的形式移动而形成的，其传播方向垂直于电场与磁场所构成的平面，电磁波能有效的传递能量和动量1。从低频到高频，电磁波可以分为：无线电波、微波、红外线、可见光、紫外光、X射线和射线等，人眼可见波长在380nm至780nm之间，如图1所示。(a)(b)图1. (a) 电磁波传播方式 (b) 电磁波按频率分段图（图片来自网络）传统光学只研究可见光与物质的相互作用，而现代光学已扩展到对全波段电磁波的研究。随着微加工技术的日臻成熟，电磁波在微纳结构中的传播，散射和吸收等性质开始逐渐被人们研究。1987年，Yabnolovich和John首次提出了光子晶体的概念2, 3；1998年，Ebbesen等人发现在打了周期性亚波长纳米空洞的厚金属膜上存在着超强的光投射峰，这一发现激起了对金属周期结构中表面等离激元的研究热潮4。从1987年至今，各领域对光学微纳结构的研究一直在迅猛发展。1.1 光子
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