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中国石油大学(华东) 气 相 沉 积 技 术专业班级：材料物理081-3开课单位：材料物理系任课教师：韩 治 德上次课主要内容回顾 高能束表面改性特点11 五种激光表面处理工艺11 三种高能束表面改性的特点比较 离子注入概念11 表面扩渗11、表面淬火热处理、高密度太阳能表面处理11、表面形变强化的概念让优秀成为一种习惯日常所见的器具让优秀成为一种习惯门把手门把手玩具奖杯精美的刀叉让优秀成为一种习惯精美的刀叉让优秀成为一种习惯气相沉积技术概述 薄膜制备技术之一，利用气相中发生的物理、化学过程，在材料表面形成具有特殊性能的金属或化合物覆层的工艺方法 薄膜在上一世纪得到了迅猛发展（前图） 思考的问题：膜有厚有薄，多厚算薄膜？薄膜有哪些特征？薄膜有哪些种类？有哪些应用？是怎么制备出来的？ 定义 一类用特殊方法获得的，依靠基体支撑并具有与基体不同的结构和性能的二维材料，一般指厚度为 100nm25m的膜层让优秀成为一种习惯薄膜的特征 厚度：薄膜通常具有亚微米级至微米级的厚度纳米晶多层膜金刚石薄膜金刚石薄膜刀具透明金刚石薄膜让优秀成为一种习惯薄膜的特征 有基体支撑：依附于固体表面并得到其支撑而存
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