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第五章 二维纳米结构- 纳米薄膜第一节 纳米薄膜的分类 纳米薄膜(nano-thin film) 定义:1) 由纳米晶粒构成的薄膜; 将纳米晶粒嵌在某种薄膜中的复合膜; 每层厚度在纳米量级的单层或多层膜. 分类级别 1) 按微结构分类. 含有纳米粒子; 厚度为纳米级 2) 按用途分类. 功能纳米薄膜, 结构纳米薄膜 3) 根据层数分类 单层或多层第二节 纳米薄膜的制备方法一、物理法1 真空蒸发镀膜 加热方式有：电阻加热，电子束加热，高频加热原理：经高温蒸发的原料蒸气在基体上成膜电子束加热法装置原理图真空蒸镀法的应用 蒸镀法具有速度快的优点，可用于制备不同功能的纳米膜，如导电膜，光学增透膜，金属膜等。 缺点：膜强度不高，控制合金成分有效率低。2 、溅射镀膜 原理：在真空室中，利用荷能粒子轰击靶材表面，使被轰击出的粒子在基片表面成膜。 离子溅射产生原理：高能辐射离子轰击固体，部分被轰击的原子克服表面能飞离固体的现象溅射产额与入射离子能量关系贱射技术 直流溅射技术 三极和四极溅射 射频溅射 磁控溅射 离子束溅射射频磁控溅射SiO2 装置图溅射镀膜技术的应用 低温合成高温材料 SiC 用CVD
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