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4.5 光栅传感器4.5.1光栅传感器的结构4.5.2莫尔条纹形成的原理4.5.3莫尔条纹技术的特点4.5.4光栅的光路4.5.5辨向原理4.5.6细分技术1光栅传感器和光栅光栅传感器是根据莫尔条纹原理制成的一种计量光栅，实际上是光电式传感器的一个特殊应用。光栅是在一块长条形的光学玻璃上刻有密集等间距平行的刻线，刻线密度为10100线毫米。由于光栅形成的叠栅条纹具有光学放大作用和误差平均效应，故能提高测量精度。由于光栅测量具有结构简单、测量精度高、易实现自动化和数字化等优点，得以广泛应用。该类传感器多用于测位移及位移相关量，如测速度、振动、质量、表面轮廓等。按光栅的形状和用途分为长光栅和圆光栅，分别用于线位移和角位移的测量。按光线走向分为透射光栅和反射光栅。24.5.1 光栅传感器的结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副（也称光栅尺，包括主光栅和指示光栅）和光电接收元件组成。 光栅副是主要部分，主要由主光栅( 也称标尺光栅) 和指示光栅组成。当主光栅相对于指示光栅移动时，形成亮暗交替变化的莫尔条纹。利用光电接收元件将莫尔条纹亮暗变化的光信号，转换成电脉冲信号，并数显，便可测量主光栅的移动
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