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超精密加工技术的发展及应用(共2页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上超精密加工技术的发展及应用1 微光学概述 1.1 定义与名称微光学是一门属于多门前沿学科交叉领域的新兴科学。微光学借助于微电子工业技术的最新研究成果,是国际上最前沿研究方向之一,并具有广泛的应用前途。微光学元件(MOC),指面形精度可达亚微米级,表面粗糙度可达纳米级的自由光学曲面及微结构光学元件。自由光学曲面包括有回转轴的回转非球面(如抛物面、渐开面等),和没有任何对称轴的非回转非球面,如Zernike 像差方程曲面。微结构是指具有特定功能的微小表面拓扑形状,如凹槽、微透镜阵列等,的微金字塔结构表面。这些结构决定了对光线的反射,透射或衍射性能,便于光学设计者优化光学系统,减轻重量,缩小体积。典型微光学元件如全息透镜、衍射光学元件(DOE)和梯度折射率透镜等,将这些微光学元件应用在各种光电子仪器中,可以使光电子仪器及其零部件更加小型化、阵列化和集成化。 1.2 微光学元件的应用微光学元件是制造小型光电子系统的关键元件,它具有体积小、质量轻、造价低等优点,并且能够实现普通光学元件难以实现的微小、阵列、集成、成像和波面转换等新功能。随着系

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