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精选优质文档-倾情为你奉上表一：高压反应釜A项目使用范围控制精度元件精度温度50-30010.25%F.S压力0-3.0MPa0.01MPa0.25%F.S气体流量20-2000SCCM2.0SCCM准确度：1%F.S 线性：0.52%F.S 重复精度：0.2%F.S液体流量0.01-9.99ml/min0.04-39.9 ml/min0.01ml/min准确度：2%F.S 重复精度：0.2%F.S釜体积20升釜液位0-20CM1CM准确度：0.3%F.S无级变速10-1200转/分0.5%FS 表二：高压反应釜B项目使用范围控制精度元件精度温度50-30010.25%F.S压力0-3.0MPa0.01MPa0.25%F.S釜体积20升釜液位0-20CM1CM准确度：0.3%F.S无级变速10-1200转/分
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