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精选优质文档-倾情为你奉上洁净室节能的十个技巧洁净室里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。高效率的设计和高效率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。升级的投资收回率通常比直接购买新设备要高很多。大部分工厂设备翻新的投资回收期不超过两年也就是说，通常投资收回率至少是50%，对照投资新的固定资产，则只有10%到15%（即投资回收期需要七年时间）。这些情况降低了企业的竞争力和投资股东的兴趣。在今天高度发达的工业中，工厂运行和产品设计一样需要改革。高效率地利用能源的例子很多。挖掘浪费的能源比卖产品更能增加利润，因为节约下来的钱在最终效益中马上就能体现出来。虽然能源的成本占晶
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