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精选优质文档-倾情为你奉上整片晶圆纳米压印的装置和方法引入一种由支撑层、弹性层和结构层组成的三层复合结构透明的晶圆级软模具，压印过程采用从模具中心位置向外侧方向逐渐均匀性微接触压印的方法，基于新的模具结构并采用气体辅助压印力和毛细力共同作用下，实现压印力均匀分布、消除气泡缺陷，并在小的压印力下实现大面积图形的复制（保证复形的精度和质量）。脱模过程采用模具从晶圆最外侧向中心小面积连续“揭开”式脱模工艺，在真空吸力和水平力的共同作用下，采用微小的脱模力即可实现大面积脱模（一方面避免大面积接触同时脱模需要较大的脱模力，导致对模具和复制图形造成损伤；另一方面避免单侧揭开式脱模，因模具变形大导致其寿命短以及生产率低的缺陷)。压印过程和脱模过程均以模具中心为对称轴，模具均匀和对称受力，压印和脱模过程两侧同时进行（极大提高生产率和复形的质量）。本项目提出大尺寸整片晶圆纳米压印方法，其基本过程如图1所示。具体包括以下工艺步骤：1）预处理过程。关闭压力管路，打开真空管路，模板吸附在压印头工作台面上（具体说是模板的支撑层吸附于压印头工作台面中的凹槽里）。将涂铺有抗蚀剂的晶圆
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