精选优质文档-倾情为你奉上镀膜真空术语全集（中英文对照） 5.分压真空计（分压分析器） 5-1.射频质谱仪radio frequency mass spectrometer：5-2.四极质谱仪（四级滤质器）quadrupole mass spectrometer；quadrupole mass filer：5-3.单极质谱仪momopole mass spectrometer： 5-4.双聚焦质谱仪double focusing mass spectrometer：5-5.磁偏转质谱仪magnetic deflection mass spectrometer：5-6.余摆线聚焦质谱仪trochoidal focusing mass spectrometer：5-7.回旋质谱仪omegatron mass spectrometer：5-8.飞行时间质谱仪time of flight mass spectrometer：6.真空计校准 6-1.标准真空计reference gauges：6-2.校准系统system o
