4走題李研究生课程论文科目:教师:姓名：学号:专业：类别:上课时间：考生成绩：卷面成绩平时成绩课程综合成绩阅卷评语：阅卷教师（签名）重庆大学研究生院制摘要本文主要介绍了微细加工技术的概念，微细加工技术中的LIGA 技术，以及在此基础上开发出来的 UV-LIGA技术、Laser-LIGA技术、DEM技术、SLIGA技术等准LGIA 技术的概念、原理、基本工艺、特点 , 以及在微机械、传感器、射频等领域中的应用， 最后在以上基础上分析总结了 LIGA技术的发展方向机趋势。关键词：微细加工技术；LIGA技术；准LIGA技术；微机械；AbstractThis paper mainly introduces the concept of micro machining technology, the LIGA technology of Micro machining technology, and d
