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精选优质文档-倾情为你奉上中山大学光信息专业实验报告：共焦测量实验实验人：何杰勇（） 合作人：徐艺灵 组号B13 （2014年3月27日星期四）【实验目的】1. 了解共焦成像原理及其测量特点；2. 掌握用共焦成像法测量物体表面的平整度；3. 了解激光共焦测量的应用场合。【实验基本原理】1. 激光共焦测量基本原理共焦成像分为反射式和透射式两种，本实验采用反射式共焦成像为例简述共焦成像原理，如图1所示。点光源位于准直物镜的焦点上，所发出的光被准直成平行光后，经分光镜反射至共焦透镜，照射在样品上。当样品恰好位于共焦透镜的焦平面上时入射光恢复成平行光原路返回，通过分光镜和成像透镜后，在成像透镜的焦点上成点光源的第二次像，这就称为共焦成像。共焦成像过程中，在探测器前加小孔光阑可有效抑制杂散光干扰。当光源、样品及CCD探测器均处于彼此的共轭位置时，CCD接收到的反射光最多。当样品稍微偏离共焦透镜的焦平面时，部分反射光将被光阑挡住，使探测器接收到的反射光迅速减弱，相应的轴向曲线变窄。由此可见，共焦测量具有很高的轴向分辨率，因此只有当物
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