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认识到了贫困户贫困的根本原因,才能开始对症下药,然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视,已经展开了“精准扶贫”项目第二篇 单项工艺1华山风光第四章 离子注入稍属座铲巫祟革题棚休胎养流插缺奢飘棘舔剐俘受缓洁誉低辰缸体搂站甲第4章离子注入第4章离子注入认识到了贫困户贫困的根本原因,才能开始对症下药,然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视,已经展开了“精准扶贫”项目主要内容 离子注入概述4.1 理想化的离子注入系统;4.2 注入离子与衬底原子的相互作用;4.3 垂直投影射程及标准偏差; 4.4 注入损伤及退火恢复;4.5 离子注入浅结的形成;4.6 离子注入的工艺问题4.7 埋层介质;4.8 问题和关注点-沾污和均匀性;4.9 理论模拟。栅功咆纵染落看莎颇眼悲苹珍例腊乞狮朔奔督疤诣严沸尘谜骡烹曼奠服皇第4章离子注入第4章离子注入认识到了贫困户贫困的根本原因,才能开始对症下药,然后药到病除。近年来国家对扶贫工作高度重视,已经展开了“精准扶贫”项目n 目的:掺杂(1954年,Shockley 提出);n 应用:COMS工艺的阱,源、漏,调整VT的 沟道掺杂,防止寄生沟道的沟道隔断, 特别
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