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中国科学院光电技术研究所先进光学研制中心报告人：侯溪光电技术研究所 先进光学研制中心2013-9-5高精度光学元件面形干涉检测技术进展2011-11-13从使用情况来看，闭胸式的使用比较广泛。敞开式盾构之中有挤压式盾构、全部敞开式盾构，但在近些年的城市地下工程施工中已很少使用，在此不再说明。 2目 录v1、概述v2、国内外高精度面形检测技术现状和发展趋势v3、高精度面形干涉检测技术进展v4、结束语从使用情况来看，闭胸式的使用比较广泛。敞开式盾构之中有挤压式盾构、全部敞开式盾构，但在近些年的城市地下工程施工中已很少使用，在此不再说明。 3一、概述从使用情况来看，闭胸式的使用比较广泛。敞开式盾构之中有挤压式盾构、全部敞开式盾构，但在近些年的城市地下工程施工中已很少使用，在此不再说明。 4 现代光学工程向”一大一小” 两个方向发展。 v “大”:大口径 大相对口径 拼接 离轴非球面 轻质量 高精度v “小”:亚纳米级高精度面形 低中高频粗糙度 大型地基望远镜、空间望远镜、惯性约束聚变装置、深紫外和极紫外投影曝光系统已经成为现代光学工程的典型代表。 大小大型望远镜 空间望远镜DUV光刻机ICF
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