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电子工业超纯水设备的工艺和应用电子工业制备超纯水设备的工艺大致分成以下3种：1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器中间水箱阳床阴床混床(复床)超纯水箱超纯水泵后置保安过滤器用水点2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器中间水箱反渗透设备混床(复床)超纯水箱超纯水泵后置保安过滤器用水点3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器中间水箱反渗透设备电去离子(EDI)超纯水箱超纯水泵后置保安过滤器用水点电子工业超纯水设备特点电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电
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