第五章 激光测量激光 Leaser 这英文名词是由几个单词缩写而成,其意思是激发辐射光放大。激光是一种能量密度高、方向性强、单色性好的相干光。激光工作原理是,当激光工作物质,也称可激活物质( 如红宝石、钕玻璃氦氖气体等具有亚稳态能级结构的物质)受到光泵( 脉冲激励光源 )的激发后 , 便产生受激辐射跃迁 , 形成光放大 , 再经过由全反射镜和部分反射镜组成的谐振腔产生振荡后 , 成为单向平行光束 , 由腔的一端输出激光束。5. 1激光干涉仪测量长度由于激光具有良好的方向性、单色性和相干性等优点,采用激光器作为光源,以激光稳定的波长作基准,利用光波干涉原理实现大尺寸的精密测量是目前大尺寸测量中比较理想的方法。以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。1用单频激光干涉仪测量单频激光干涉仪是将同一激光器发出的光束,经分光镜后分成相同频率的参考光束和测量光束,它们分别经固定棱镜和随被测件移动的可动棱镜(如图5-1)反射,而在分光面上重新汇合而产生干涉,相应的被测长度,对应于干涉场的干涉条纹信号变化的次数,通过光电