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几类硬质薄膜的摩擦磨损性能测试华敏奇1 张广安1 袁振海2 张莎莎31、中国科学院兰州化学物理研究所 2、广州有色金属研究院 3、兰州华汇仪器科技有限公司摘要：采用摩擦磨损试验机考察了几类复合硬质薄膜的摩擦磨损行为，结果表明：复合薄膜的摩擦磨损性能均极大提高。CrN基复合薄膜的硬度与抗磨损性能均较CrN薄膜有极大提高；Al/AlN纳米多层膜具有软质Al层和硬质AlN层的交替结构，在摩擦过程中，硬质AlN层可以起到良好的承载作用，软质层可以起到良好的减摩作用，有效的降低了Al/AlN纳米多层膜的摩擦和磨损，具有非常优异的摩擦学性能；Ti-DLC薄膜与Si3N4、钢、Ti-DLC对摩时，均表现出良好的耐磨减摩性能，但摩擦系数与磨损率各不相同。硬质薄膜材料包括难溶化合物(氮化物、碳化物、氧化物等)、类金刚石碳膜及硬质合金等硬度高、耐磨性好，已经取得了广泛的应用。但如何评价硬质薄膜的摩擦磨损行为，已经成为研究此类硬质薄膜的关键问题，主要包括研制各种新型的摩擦学薄膜材料及摩擦学性能评价、薄膜的摩擦磨损原理及指导实际工况材料的摩擦学设计。本文考察了几类物理气相沉
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