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氢化工艺教材一， 德方原始工艺描述STC从罐区供给用蒸气加热的气化器。蒸发之后，气态的STC与电解制氢和9200单元回收的氢混合，体积流率比为一比三。混合后，气态STC和氢混合物供给氢化炉生成TCS。在6bar，1150摄氏度时，大部分STC（70）依照以下化学式生成TCS和氯化氢。SiCl4(g) + H2(g) HSiCl3(s) + HCl (g)为了维持STC生成TCS和氯化氢的反应过程，氢化炉里的STC浓度不可以减少。因此STC和氢连续供给氢化炉。排出气体成分包括TCS，STC，氢和氯化氢连续从氢化炉排出，供给排出气体回收单元V9200用来分离和回收排出气体中的各成分。2，T1100 and T1101: Evaporation of silicon tetrachloride (STC)每一个气化器按照容器蒸发器设计，配有蒸气加热夹层和蒸气加热U型管束。饱和蒸气8bar，180摄氏度从蒸气工厂供给加热夹层和每一个气化器的U型管束以便提供足够的热量蒸发STC。气化器的加热夹层和U型管束同时配有疏水器，用来避免冷凝液溢流。冷凝物
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