1、硅片事业部一硅片车间目目 录录断线线痕崩边厚薄片缺角隐裂弯曲片掉棒掉片过滤袋堵塞如何避免断线和断线的解决方法钢线张力异常会引起以下现象断断 线线放线轮断放线轮断线线收线轮断收线轮断线线线网断线线网断线 切割快结切割快结束后断线束后断线 最常见的是钢线质量问题造成断线；其次张力异常造成断线；垂直度不垂直造成断线；滑轮质量问题造成断线，滑轮没有及时更换造成断线；张力方大器故障造成断线；导轮驱动异常造成断线。 其次放线轮压线断线分为假压线和真压两种： 在这两种情况下真压线的断线率比假压线的高。其主要原因是在钢线本身，还有一种可能是断线后采用反切方法排线不正确也会产生。放放线线轮轮断断线线 其一排线的
2、问题。在切割过程中收线轮处的排线轮由于行程有细微的过大，而切割后的钢线本身在切割过程中有了比较均匀的磨损；由于排线轮的行程大了一点，线和收线轮的飞边相摩擦产生一个切向力（废钢线也有一定的张力）。被收线轮的飞边给切断的。如果在微观方面看得话，是由于排线行程过大的那一刹那。 其二收线轮的原因。在排线正常的情况下由于收线轮的飞边上有金属毛刺。在收线轮高速旋转的情况下，在飞边上的毛刺产生切向力河大足以截断一根 0.140和 0.120的钢线。 其三收线轮处的张力臂力不平稳。在一切情况都排除在外时收线轮处的断线最有可能是由于收线轮处的张力臂张力不平稳引起的，忽高忽低的张力给废钢线施加了一个变量的力。在金
3、属力学中这是一大忌，钢线就是这样被疲劳拉断了。 其四滑轮质量问题或滑轮没有及时更换造成断线。收收线线轮轮断断线线 导轮没有处理干净，在高速切割中钢线因杂质而脱离导轮槽，导致钢线飞线（跳线），随着高速运转的钢线，跳线处与晶棒摩擦要比正常切割线网区域摩擦更严重，随着切割时间延长，砂浆的切割力也慢慢下降，跳线位置可能会断线； 晶棒两端斜面过大在切割中切到斜面边缘处钢线容易大化，钢线脱离线槽，会把端面位置碎片带进线网，造成断线； 晶棒本身有杂质硬点，造成断线；导轮槽磨损，切割中钢线会错位，会引起硅片断裂，硅渣进入线网造成断线； 钢线质量问题，切割中会造成线网断线； 砂浆密度过高，切割力达不到，造成没有
4、规律性的线网断线； 砂浆帘堵塞，砂浆断流，钢线和晶棒干磨，造成线网断线； 导轮驱动异常，可能会引起线网断线； 导向条下面有空隙，切割入刀口时碎导向条会与钢线的切割方向，把硬物带进线网，造成断线。线线网网断断线线 其一线速也是断线的一种因素之一，在线速迅速降低也是致命的。这时候钢线由于惯性还在向前运动，可是导轮已经按照降速后运转，同事晶棒还是在下降。这时钢线会在晶体中行程褶皱，在钢线上产生应力点，也就给断线埋下了隐患。 其二晶棒粘接对接处抹胶太多，快要切完时的线网直接与对接处的胶接触，胶过多线网会直接将其带进线网导致断线。切切割割快快结结束束后后断断线线线线 痕痕线痕分为线痕分为 9种种表面表面
5、线痕线痕厚薄厚薄片表片表面有面有一条一条线痕线痕 入刀入刀口线口线痕痕出刀出刀口线口线痕痕 中部中部线痕线痕 硬点硬点线痕线痕 进刀进刀口口 线痕线痕倒角倒角处的处的线痕线痕出线出线位置位置硅棒硅棒的线的线痕痕表面均匀线痕砂浆更换量不足，钢线带砂量太少，造成没有足够的切割能力，严重摩擦导致均匀线痕，冷却水温度过高，导致均匀线痕 。厚薄片表面有一条线痕切割中有杂质进入线网，线网瞬间跳线，钢线脱离线槽，造成切割定位，导致厚薄片，在线网瞬间跳线时，钢线在交叉时，与晶棒摩擦造成一道线痕；导轮表面磨损，钢线会挤在一起，砂浆分布不均匀，造成线痕 。入刀口线痕切割入刀口时，导向条有空隙，硬物进入线网，钢线跳
6、线瞬间会引起线痕；出刀口均匀线痕砂浆少更换 1020L，切割快结束后，砂浆的颗粒基本上已经很疲惫了，棱角几乎已经变圆，切割力已经到了疲惫状态，随着钢线不断的磨损，切割力达不到，就会造成出刀口线痕 。中部线痕切割中，砂浆嘴断流，造成硅片中部线痕 。硬点线痕硅片来料硬点，切割中小硬点可能不会造成线网断线，但钢线切到硬点时，不会与其他位置切割一样，难免会在硬点处停留数秒，这期间会造成一道线痕 。进刀口线痕由于刚开始切割，钢线处在不稳定状态，钢线的波动产生的线痕 。倒角处的线痕由于在粘接硅棒时底部留有胶，倒角处钢线带胶切割引起的线痕 。出线位置硅棒的线痕钢线磨损量大，造成钢线洁度、圆度不够，携带砂浆数量低，切削能力下降，线膨胀系数增大引起的。
