材料表面薄膜技术：杨烈宇。P253-260Piezoresistance and electrical resistivity of Pd, Au, and Cu films:电子隧道效应与表面粗糙度对薄膜电阻的影响。mean free path and effective density of conduction electeons in polycrystalline metal filmsd电子自由程对多晶金属电阻率的影响。The electrical conductivity of thin metal films with very smooth surfaces具有光滑表面的金属薄膜的电导率（1）金属薄膜电阻率与表面粗糙度、残余应力的关系唐武1，邓龙江1，徐可为2，Jian Lu3(1电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都)(2西安交通大学，陕西西安)薄膜表面的粗糙度可通过原子力显微镜测量，残余应力采用光学干涉的方法测定。电阻率与表面粗糙度的关系：随着表面粗糙度的增加薄膜 的电阻率一直在增加，有关薄膜
