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电子工厂- 晶圆厂-TFT - 厂- 面板厂- 厂务系统概述0.电子厂名言 唯一的不变就是永远在变 唯一确定的就是还没决定所以接下来介绍的在现场都不是绝对的1.厂务系统功能1.1水系统在制程中的功能PCW制程冷却水制程机台冷却UPW/DIW超纯水补水/清洗/稀释Chill Water冰水冷却用冷源/空调用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自来水原水/一般用水1.2气体系统在制程中的功能CDA压缩干燥空气搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹GN2一般氮气Purge/CDA Backup/洁净冲吹PN2纯化氮气Purge/空间填充/超洁净冲吹其他B-GAS大宗气体制程需求/Purge/空间填充/超洁净冲吹S-GAS特殊气体制程Chamber填充需求/干蚀刻制程需求1.3化学系统在制程中的功能Chemical化学药品清洁清洗/湿式蚀刻制程需求1.4真空系统在制程中的功能PV制程真空基板吸引般移HV清洁真空尘屑吸引清洁/真空吸笔Pump Line制程高真空Chamber制程转换之高真空建立Exhaust排气系统Chamber制程转换之废气排除Drain排水系统机台制程使用之废DI/Che
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