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电子气体化学品应用与安全 本节内容l 一、气体输送系统l 二、化学品输送系统l 三、气体化学品监测系统l 四、工艺安全管理及事故案例分析l 五、个人防护用品（PPE）及应急反应l 六、厂务运行管理实务一、气体输送系统1、半导体厂常用气体分类及其输送方式半导体厂常用气体 属性 输送方式 备注大宗气体N 、Ar 、He 、H 、O 液罐多用于液化气体，低温液体，体积膨胀率大，会产生烟雾长管拖车用于大宗气体难于液化气体集气格用于高压难于液化气体特殊气体可燃气体腐蚀性气体毒性气体氧化性气体惰性气体大宗气体：BSGS非大宗气体：GC/GRBSGS 多配置加热器，主要形式有：ISO Tank 、Tube Traller 、Y-Cylinder气体输送系统2、气柜的作用：、实现对工艺设备的连续供气：采用双瓶切换系统；、安全地输送工艺气体至工艺设备： 、对工艺设备的安全考虑：压力调节、气体净化、吹扫； 、对操作人员的安全考虑：柜体隔离、排风系统、报警系统、紧急切断、全自动控制系统； 、对环境的安全考虑：工艺生产要求、气体的不同性质、当前项目预算、将来项目扩展需求。3、气柜使用中常见问题及注意事项：、
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