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第8章芯片封装及装配技术课件.ppt

一、封装工艺二、芯片互连三、封装材料四、封装类型第8 章 芯片封装与装配技术1 封装是IC 芯片生产完成后不可缺少的一道工序,是器件到系统的桥梁。封装环节对微电子产品的质量和竞争力都有极大的影响。封装主要有以下功能:功率分配(电源分配)、信号分配、散热通道、环境保护及机械支撑。2封装工艺 IC 封装步骤因产品而异,但其基本流程是不会有大的变化的。1 Laminater (贴膜) 用辊轴采取适当力度在晶圆的正面贴上一层保护膜(通常为蓝色的紫外光贴膜)以防止具有在打磨时受到污染 或磨损电路。32.Backlap/Grinding (背面打磨) 对晶圆进行打磨,把晶圆的厚度磨至需求厚度,通常达到晶圆厚度为230m 、320m 、80m ,而电路本身基本为10m 的程度。453 Tape remove (去膜) 给UV tape 照射适当的紫外光以消除粘性,再利用remove tape 将其揭开。4 Tape mount (贴膜) 为了防止在切割时晶圆发生分裂影响后续工艺,用胶膜和钢圈把晶圆固定起来。65 Sawing/Dicing (切割) 沿晶圆上的street ,用金刚石切刀切至wafe

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