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第二章第二章MEMSMEMS设计基础设计基础内容提要 硅晶体结构与微观力学 微尺度效应MEMS 中的材料应用及进展MEMS 设计的基本问题MEMS 设计的具体方法提问1. MEMS 的分类和特点？2. MEMS 的典型产品有哪些？分别应用在哪些领域？3. MEMS 的设计涉及那些学科？4. 可以用作MEMS 中的材料有哪些？四、 MEMS设计的基本问题MEMS设计的目的分为三类：(1) (1) 作为 作为 技术探索 技术探索 而设计的组件或系统：一般是为了验 而设计的组件或系统：一般是为了验证研究者的某种设计思想，测试某种制作工艺的合理性与 证研究者的某种设计思想，测试某种制作工艺的合理性与局限性，因此，只需制作少量的试样就够了。 局限性，因此，只需制作少量的试样就够了。(2) (2) 作为 作为 仪器研发 仪器研发 而设计的组件或系统：设计的设备将 而设计的组件或系统：设计的设备将用于完成某种科研活动或某种高度专业化的任务，对这种 用于完成某种科研活动或某种高度专业化的任务，对这种目的的设计，必须注意仪器、设备的准确性，而对产品需 目的的设计，必须注意仪器、设备的准确性，而对产品需求
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