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LED用蓝宝石.docx

LED用蓝宝石基板(衬底)简介2011-09-2910:26编辑：wendymeng一、蓝宝石介绍蓝宝石的组成为氧化铝(A1203),是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成，其晶体结构为六方晶格结构。它常被应用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane.由于蓝宝石的光学穿透带很宽，从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上，它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高(2045r)等特点，它是一种相当难加工的材料，因此常被用来作为光电元件的材料。目前超咼亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质，而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关，蓝宝石(单晶Al2O3)C面与III-V和II-W族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN磊晶制程中耐高温的要求，使得蓝宝石芯片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。下图则分别为蓝宝石的切面图；晶体结构图上视图；晶体结构侧视图；Al203分之结构图；蓝宝石结晶面示意图：c-Plan