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OFweek分享:LED用蓝宝石基板(衬底)详细介绍(附图)1:蓝宝石详细介绍蓝宝石的组成为氧化铝(A12O3),是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成其晶体结构为六方晶格结构它常被应用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane.由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性.因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上,它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高Q045C)等特点,它是一种相当难加工的材料,因此常被用来作为光电兀件的材料。目前超咼亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质,而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关,蓝宝石(单晶Al2O3)C面与III-V和II-W族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小,同时符合GaN磊晶制程中耐高温的要求,使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。下图则分别为蓝宝石的切面图;晶体结构图上视图;晶体结构侧视图;Al2O3分之结构图;蓝宝石结晶面示意图:33逊R-Plane
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