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压力变送器及热电阻的认识一、扩散硅压力变送器的工作原理：扩散硅式压力变送器的传感器部分是压阻式压力传感器，它是基于半导体的压阻效应，将单晶硅膜片和电阻条采用集成电路工艺结合在一起，构成硅压阻芯片，然后将芯片封接在传感器的外壳内，连接出电极引线而制成，如图1-4所示。硅平膜片在微小变形时有良好的弹性特性，当硅片受压后，膜片的变形使扩散电阻的阻值发生变化。其相对电阻变化可表示为：AR=兀eQR式中“e为压阻系数；q为应力。图1.2-1压阻式压力传感器结构示意图硅平膜片上的扩散电阻通常构成桥式测量电路，相对的桥臂电阻是对称布置的，电阻变化时，电桥输出电压与膜片所受压力成对应关系。上图所示为一种压阻式压力传感器的结构示意图，硅平膜片在圆形硅杯的底部，硅杯的内外两侧输入被测压力及参考压力，本套装置的传感器参考压力为当地大气压力。压力差使膜片变形，膜片上的两对电阻阻值发生变化，使电桥输出相应压力变化的信号。为了补偿温度效应的影响，一般还可在膜片上沿对压力不敏感的晶向生成一个电阻，这个电阻只感受温度变化，可接入桥路作为温度补偿电阻，以提高测量精度。压阻式压力传感器的灵
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