精梳版P5000工作原理课件.ppt

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精梳版P5000工作原理课件.ppt

Theory introduction. 1P5000 Minframe overview主机. 2Power on. 3Remote AC box. 4AC box. 5DC power1.48v 10A Chopper driver, moto break2.+/-15v 3A Match, manometer, remote support equipment, tool3.24v 31ADI/O,. 6. 7TCMFC. 8. 9. 10Expand 12 gases to 28 gases.附机. 11Heat exchanger . 121.AMAT-0 standard工作温度：20-80 冷却液：50% ethylene glycol 50% DI water流量：2 gpm容量：2 gallon2.AMAT-1 high temperature工作温度：20-120 冷却液：100% ethylene glycol流量：1.25 gpm容量：2 gallon3.Neslab工作温度：5-35 冷却液：50% ethylene glycol 50% DI water容量

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