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真空技术基础德莫.克利特（约在公元前460-370年，大哲学家）认为世界的本源应是由原子和虚无组成，且原子在虚无中做永恒的运动 亚里士多德（约在公元前384-322年，大哲学家）则认虚无绝不可能存在，空间必须有物质才能够相互作用，所以空间决不会虚无到没有任何物质存在 托里拆力试验十七世纪用抽水泵它来排除矿井中的积水，无法将水抽到10米以上的高度 伽利略（15641642）物理學家、數學家、天文學家及哲學家 “真空力” 托里拆力（16081647） 物理学家、数学家 水银真空试验辈尔梯数学家、天文学家水真空试验 （当时未成功）托里拆力试验在20世纪初，真空技术获得了飞速发展，被广泛应用于军事及民用领域。同样，真空技术也是薄膜制备的基础。本章将对真空的基本知识、真空的获得、真空的测量等基础知识进行介绍。几个基本概念： 真空：气体分子数量低于大气压状态的空间。但不是完全空的。 真空术语： 本底真空度：全密封真空腔体内抽空时的气压。 工作真空度：实验或工艺过程中所必需的气体压力。 极限真空度：没有漏气和内壁脱气条件下，真空泵所能达 到的最低气压。 真空规：测量真空中气压的仪表或传感器。真空度单
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