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第八章：X射线光电子谱(XPS)X-ray Photoelectron Spectroscopy第一节、光电子能谱简介1.电子能谱分析法是采用单色光源（如X射线、紫外光）或电子束去照射样品，使样品中电子受到激发而发射出来，然后测量这些电子的产额（强度）对其能量的分布，从中获得有关信息的一类分析方法。电子能谱是固体表面分析的主要方法之一。2.常用的光电子能谱法根据使用的激发光源不同分为以下三种：X射线光电子能谱(X-Ray Photoelectron Spectrometer XPS)紫外光电子能谱(Ultraviolet Photoelectron Spectrometer，UPS)俄歇电子能谱(Auger Electron Spectrometer，AES)3.俄歇电子能谱法(AES)是用具有一定能量的电子束(或X射线)激发样品俄歇效应，通过检测俄歇电子的能量和强度，从而获得有关材料表面化学成分和结构的信息的方法。4.X射线光电子能谱法（XPS），采用能量为10001500eV 的X射线源，能激发内层电子,使物质光电离、光电子发射，研究其激发过程及其能量关系，各种元素内层电子的结合能
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