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电子探针1.1 EPMA 1.1 EPMA 概述概述电子探针电子探针X X射线显微分析仪射线显微分析仪(ElectronprobeX-raymicroanalyser,EPMA)的简称为电子探针的简称为电子探针。电子探针利用电子探针利用0.5m1m的高能电子束激发分析的高能电子束激发分析试样，通过电子束与试样相互作用产生的特征试样，通过电子束与试样相互作用产生的特征X射射线、二次电子、吸收电子、线、二次电子、吸收电子、背散射电子及阴极荧光背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内等信息来分析试样的微区内(m范围内范围内)成份、形貌成份、形貌和化学结合状态等特征。和化学结合状态等特征。1.1.1 1.1.1 电子探针的发展历史及发展趋势电子探针的发展历史及发展趋势1932年在柏林由年在柏林由Knoll和和Ruska研制出第一台电子显微镜研制出第一台电子显微镜1939年西门子（年西门子（Siemens）第一台透射电镜（）第一台透射电镜（TEM）商品）商品1949年年castaing用用TEM改装成一台电子探针样机改装成一台电子探针样机1951年年6月，月，Castaing在其博士论文中，
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