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第9章-半导体2湿敏资料课件.ppt

9.2 湿湿 敏敏 传传 感感 器器 湿度是指大气中的水蒸气含量,通湿度是指大气中的水蒸气含量,通常采用绝对湿度和相对湿度两种表示方常采用绝对湿度和相对湿度两种表示方法。法。绝对湿度的定义:绝对湿度的定义:在一定温度和压力条件下,每单位在一定温度和压力条件下,每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量,体积的混合气体中所含水蒸气的质量,单位为单位为g/m3,用符号,用符号AH表示。表示。相对湿度的定义:相对湿度的定义:气体的绝对湿度与同一温度下达到气体的绝对湿度与同一温度下达到饱和状态的绝对湿度之比,用符号饱和状态的绝对湿度之比,用符号%RH表表示。示。相对湿度给出大气的潮湿程度,无相对湿度给出大气的潮湿程度,无量纲,在实量纲,在实际使用中多使用相对湿度。际使用中多使用相对湿度。湿敏传感器是能够感受外界湿度变湿敏传感器是能够感受外界湿度变化,并通过器件材料的物理或化学性质化,并通过器件材料的物理或化学性质变化,将湿度转化成有用信号的器件。变化,将湿度转化成有用信号的器件。湿度检测较之其它物理量的检测困难。湿度检测较之其它物理量的检测困难。1.空气中水蒸气含量要比空气少得空气中水蒸气含量要

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