集成电路前道工艺、设备及市场分析梅林目录一、集成电路核心组件简介二、半导体前道工艺三、半导体前道设备市场分析四、机遇与挑战什么是集成电路uu麒麟麒麟980980uu集成电路（集成电路（ICIC）就是一种微型电）就是一种微型电子器件或部件的总和，将所有元子器件或部件的总和，将所有元器件和连接线制作在同一基板上，器件和连接线制作在同一基板上，组成的系统。组成的系统。uu半导体产业的两种模式：集成制半导体产业的两种模式：集成制造模式（造模式（IDMIDM）和垂直分工模式）和垂直分工模式uuR RuuC C电阻氧化膜氧化膜pnnP型扩散层型扩散层（电阻）（电阻）基区扩散电阻基区扩散电阻VCCLw电容氧化膜氧化膜pN+平板型电容平板型电容铝电极铝电极N-epi隔离隔离槽槽N叠式结构电容叠式结构电容氧化膜氧化膜电容极板电容极板nPN结晶体管NPN型双极性晶体管BECpn+n-epin+P-SiP+P+S发射发射区区(N+型型)基区基区(P型型)集电区集电区(N型外延型外延层层)衬底衬底(P型型)n+-BLnpnBECCBEN P NBECCMOS晶体管Sisourcedraingategateox
