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本科生专业课程本科生专业课程 第第9 9章章精密和超精密加工的支撑环境精密和超精密加工的支撑环境邓建新邓建新 山东大学机械工程学院山东大学机械工程学院20102010年年11 11月月超精密加工的支撑环境及控制要求超精密加工的支撑环境及控制要求支撑支撑环境环境控制要求控制要求支撑环境支撑环境控制要求控制要求空气空气环境环境洁洁净净度度、气气流流速速度度、压压力力、有害气体有害气体声音声音环境环境噪噪声声、频频率率、声声压压热环热环境境温度、湿度、表面辐射温度、湿度、表面辐射光环境光环境照照度度、色色彩彩、眩眩光光振动振动环境环境频频率率、加加速速度度、位位移移、微微振动振动静电静电环境环境静静电电量量、电电磁磁波波、放射线放射线恒恒温温要要求求：20 0.01，实实现现方方法法：大大、小小恒恒温温间间+局部恒温（恒温罩，恒温油喷淋）。局部恒温（恒温罩，恒温油喷淋）。恒恒湿湿要要求求：相相对对湿湿度度35%45%，波波动动10%1%，实现方法实现方法：采用空气调节系统：采用空气调节系统。净净化化要要求求尘尘埃埃含含量量，实实现现方方法法：采采用用空空气气过过滤滤器器，送入洁净空气。送入洁
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