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现代电子显微分析技术傅茂森傅茂森20152015第一章 电子光学基础1.1 光学显微镜的分辨率局限 由于由于衍射效应衍射效应的作用，点光源在像平面上得到的并不是一的作用，点光源在像平面上得到的并不是一个点，而是一个中心最亮，周围带有明暗相间同心圆环的圆斑，个点，而是一个中心最亮，周围带有明暗相间同心圆环的圆斑，即即AiryAiry斑斑8484集中在中央亮斑上，其余由内向外顺次递减，分散在第集中在中央亮斑上，其余由内向外顺次递减，分散在第1 1、第第2 2。一般将第一暗环半径定为一般将第一暗环半径定为AiryAiry斑的半径斑的半径。点光源的成像-Airy斑(埃利)样品上两个物点S、S经过物镜在像平面形成像s1、s2。1、2成像后在像平面上会产生两个Airy斑1、2 如果两个物点靠近，相应的两个如果两个物点靠近，相应的两个Airy斑也逐渐重叠当斑也逐渐重叠当斑中心间距等于斑中心间距等于Airy 斑半径时，强度峰谷值相差斑半径时，强度峰谷值相差19%，人眼，人眼可以分辨，可以分辨，即即Rayleigh准则准则。两两Airy斑斑明显可分辨明显可分辨两两Airy斑斑恰好可分辨恰好可分辨两两Ai
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