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2023/1/91第第4 4章章 电容式传感器电容式传感器2023/1/92引言引言n电容式传感器是将被测非电量的变化转电容式传感器是将被测非电量的变化转化为电容变化量的一种传感器。化为电容变化量的一种传感器。n结构简单、分辨力高、可非接触测量，结构简单、分辨力高、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作件下工作。n很有发展前途的传感器很有发展前途的传感器。2023/1/934.1电容式传感器工作原理电容式传感器工作原理n由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为n保持其中两个参数不变，仅改变其中一个参数，保持其中两个参数不变，仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。过测量电路就可转换为电量输出。n电容式传感器工作方式可分为变极距式、变面电容式传感器工作方式可分为变极距式、变面积式和变介质式积式和变介质式3种类型。种类型。2023/1/
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