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1. 刚需&高壁垒铸就半导体配套治理价值半导体产业链包括上游半导体支撑产业（材料与设备）、中游半导体制造产业、下游半导体应用产业。制作工序包括设计、制造、封装和测试等环节，制造过程对生产环境的洁净程度有较高要求；同时，制造过程产生的废水、废气、废渣也需要进行处理，由此带来半导体配套治理需求。半导体配套治理具体包括：1）设备类：洁净室过滤设备、臭氧发生设备、废气/废水/废渣治理设备；2）耗材类：洁净室过滤器、电子特气。 洁净室过滤设备：洁净室将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，集成电路制造过程中的单晶硅片制造、IC 制造及封装都需要在洁净室中完成。洁净室内需要安装过滤设备以保障生产环境的洁净程度，过滤器存在使用周期，过滤效果减弱后需要替换，从而带来过滤器设备新建以及后续替换需求。 废气治理：废气产生于涂覆、显影、蚀刻、剥离、清洗等环节，分为酸性废气、 碱性废气、有机废气和工艺尾气。酸性废气、碱性废气、有机废气分别进入到 对应的处理系统处理后排放，而工艺尾气需要与生产工艺同步进行收集、治理 和排放。工艺尾气产生于热氧化、CVD、光刻曝光、
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