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南京中电熊猫平版显示科技有限公司新一代超高分辨率液晶面板项目(G108)GASGAS系统施工简介和规范系统施工简介和规范G108彩膜/成盒厂房2工作特点一液晶面板厂生产简介二液晶面板厂所需气体之特性与功能三液晶面板厂所需化学物质及其特性四工作内容目录目录G108彩膜/成盒厂房31液晶面板厂简介液晶面板厂是生产液晶面板显示器的现代化厂房，其主要工作场所为无尘室。无尘室是恒温恒湿的，温度为21C。相对湿度为65%。2液晶面板厂所需气体之特性及功能由于制程上的需要，工厂使用了许多种类的气体。一般我们皆以气体特性来区分。可分为特殊气体及一般气体两大类。前者为使用量较小之气体。如SiH4、NF3等。后者为使用量较大之气体。如N2、CDA等。因用量较大；一般气体常以“大宗气体”称之。即BulkGas。特气SpecialtyGas。2-1BulkGas在半导体制程中，需提供各种高纯度的一般气体使用于气动设备动力、化学品输送压力介质或用作惰性环境，或参与反应或去除杂质度等不同功能。目前由于半导体制程日益精进，其所要求气体纯度亦日益提并。以下将简述半导体厂一般气体之品质要求及所需配合之设备及功能。厂房及
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