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第三章 基本光学测量技术第一节 光电测量用的精密测角仪第一节 光电测量用的精密测角仪n角度计量是计量科学的重要组成部分,随着生产和高科技的发展,对角度计量的要求日益增多,测角技术及其测量准确度因为在不断提高。光学测量所涉及的许多量是可以通过测量角度后间接得到的,例如棱镜角度的偏差、反射棱镜角度的光学平行差、玻璃材料的折射率、光学系统的焦距、自聚焦透镜的数值孔径等。n角度测量的方法和仪器很多,例如光学角度规、水平仪、测角仪、光学分度头、分度台、经纬仪、罗盘、体视望远镜、周视瞄准镜等。精密测角仪是实现任意角高精度测量的重要仪器之一,也是光学测量实验室的基本仪器。n测角仪的关键部件是圆分度器件,圆分度是指对圆周的分度,角度测量就是使被测的角度量与圆分度进行比较。n实现圆分度的器件有很多种,常用的是度盘,其它还有多面体、圆光栅、光学轴角编码器、同步感应器等。1精密测角仪 一、精密测角仪概述n近年来,利用计量光栅的测角技术发展迅速,精度越来越高,应为圆周误差是封闭的,很容易采用全积分或多头读数法将圆光栅的刻划误差减小,使测角系统具有较高的测角准确度;同时随着微电子技术的发展,将光栅的一个刻线周期
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