温馨提示：由于个人手机设置不同，如果发现不能下载，请复制以下地址【https://www.wenke99.com/d-15201024.html】到电脑端继续下载（重复下载不扣费）。
1: 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。 2: 试题试卷类文档，如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案，请知晓。 3: 文件的所有权益归上传用户所有。 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。 5. 本站仅提供交流平台，并不能对任何下载内容负责。 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
本文（第六章外延片制备课件.ppt）为本站会员（晟***）主动上传，文客久久仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对上载内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私，请立即通知文客久久（发送邮件至hr@wenke99.com或直接QQ联系客服），我们立即给予删除！
第四章第四章 外延片的制备外延片的制备4.1硅外延工艺概述硅外延工艺概述 定义定义:外延外延(epitaxy)是在一定条件下，在一片表面是在一定条件下，在一片表面经过细致加工的单晶衬底上，沿其原来的结晶轴经过细致加工的单晶衬底上，沿其原来的结晶轴方向，生长一层导电类型、电阻率、厚度和晶格方向，生长一层导电类型、电阻率、厚度和晶格结构完整性都符合要求的新单晶层的过程。结构完整性都符合要求的新单晶层的过程。新生单晶层按衬底晶相延伸生长，并称此为外延新生单晶层按衬底晶相延伸生长，并称此为外延层。长了外延层的衬底称为外延片。层。长了外延层的衬底称为外延片。同质外延：生长的外延层与衬底材料相同同质外延：生长的外延层与衬底材料相同 异质外延：外延层在结构、性质上与衬底材料不异质外延：外延层在结构、性质上与衬底材料不 同同 外延分类外延分类:气相外延气相外延(VPE)常用常用 液相外延液相外延(LPE)固相外延固相外延(SPE)熔融再结晶熔融再结晶 分子束外延分子束外延(MBE)超薄超薄4.2外延生长动力学原理外延生长动力学原理 外延时，通入含有一定硅源的氢气流，并流经被外延时，通入含有一定硅源的氢
Copyright © 2018-2021 Wenke99.com All rights reserved
工信部备案号：浙ICP备20026746号-2
公安局备案号：浙公网安备33038302330469号
本站为C2C交文档易平台，即用户上传的文档直接卖给下载用户，本站只是网络服务中间平台，所有原创文档下载所得归上传人所有，若您发现上传作品侵犯了您的权利，请立刻联系网站客服并提供证据，平台将在3个工作日内予以改正。
