电子科技大学电子科技大学University of Electronic Science and Technology of China微波集成电路微波集成电路徐锐敏徐锐敏微波电路与组件的发展RF MEMSCMOS小型化的重要性和必要性o电子技术和系统发展的必然趋势。o小型化是实现高性能、高可靠性和低成本的途径。o微电子技术的高速发展推动了通信、雷达、导航、测控等无线电应用领域的全面微电子化。o在相控阵雷达系统、电子武器、毫米波成像、卫星通信、遥感等应用领域中，高性能、体积小、重量轻、可靠性高、批量生产成本低、使用方便的小型化微波毫米波电路与系统在国民经济建设和国防建设中必将发挥越来越重要的作用。第一代微波电路立体微波电路（20世纪40年代起）波导o优点：品质因素高，损耗低，机械结构牢固，功率容量高。o缺点：体积大，笨重、加工工艺和调试过程复杂，相应成本高。第二代微波电路微波集成电路（20世纪60年代起）微带电路技术和集成电路技术o微带电路：在平面实现，结构紧凑，体积小，重量轻，造价低。o集成电路：可使大量有源器件集成于一个集成电路中，大大减小了器件的体积，提高了电路功能和加工的可靠性
