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目前 AlN 纳米结构的主要制备方法直流电弧等离子体方法是一种重要的制备纳米材料的方法，特别是制备一些高熔点的化合物，如氮化物、碳化物、氧化物、硅化物等。电弧放电可以产生极高的温度，可以达到几千度以上，并且在电弧区内存在很大的温度梯度。而等离子体则是由电弧放电在阴阳两极之间产生的电子、离子、原子等混合气体，它是一种高活性、高电离程度、高温的气体，极具反应活性。过去，直流电弧等离子体方法被较多的应用在制备纳米粒子上，近几年，也有一些利用该方法制备出一维纳米结构的报导。利用直流电弧等离子体的这些特性，将金属铝、镓、钪、钇等熔化、蒸发，氮气或者氮气与氨气的混合气体电离。这些金属蒸气与反应气体电离后的活性粒子相互发生反应，成核，最后在基底上温度合适的位置生长出晶体。1.玻璃罩、2.水冷壁、3.钨杆阴极、4.阳极金属块、5.水冷铜锅直流电弧等离子体方法反应室示意图人们发现纳米级的 AlN 材料有很多优异的性质,如纳米级 AlN 的烧结材料会有更好的热导性质，适用于高耗能器件中的应用。还可以作为增韧剂、增强剂加入金属或其他陶瓷材料中，以提高其强度和刚性；纳米 AlN 具有更高的热导率和更高速率声学
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