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仪 器 分 析11.1.电子能谱电子能谱 电子能谱分析是用单色光源或电子束照射样品电子能谱分析是用单色光源或电子束照射样品表面，使样品中原子或分子的电子受到激发而发射表面，使样品中原子或分子的电子受到激发而发射出来。通过测量这些电子的能量分布，可获得所需出来。通过测量这些电子的能量分布，可获得所需要的关于样品成分、结构的一些信息。要的关于样品成分、结构的一些信息。根据激发源的不同和测量参数的差别，电子能根据激发源的不同和测量参数的差别，电子能谱形成了不同的分支。在分析化学中常用的是：谱形成了不同的分支。在分析化学中常用的是：X射线光电子能谱（射线光电子能谱（XPS）、俄歇电子能谱）、俄歇电子能谱（AES）和紫外光电子能谱（）和紫外光电子能谱（UPS）。）。2XPSXPS能谱分析的基本原理能谱分析的基本原理能量关系可表示：能量关系可表示：原子的反冲能量原子的反冲能量忽略忽略 (0.1eV(0.1eV）得）得电子结合能电子结合能电子动能电子动能基本原理就是光电效应基本原理就是光电效应。3对试样的要求和注意事项o由于电子能谱测量要在超高真空中进行，测量从样品表面出射的光电子或俄歇电子。所以对
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