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扫描电子显微镜 扫描电镜简介历史历史：1935年，MaxKnoll提出扫描电子显微镜(SEM)的工作原理和设计1938年，VonArdenne在实验室制作出第一台扫描电子显微镜，1965年，英国生产出实用化的商品。扫描电镜的特点光学显微镜可以直接观察大块试样，但分辨本领、放大倍数、景深都比较低。扫描电镜样品室空间较大，进行较全面的原位分析，放大倍数连续调节范围大，景深长，分辨本领较高分析中心扫描电镜发展扫描电子显微镜结构、原理123SEM结构扫描电子显微镜结构、工作原理电子枪场发射电子枪热发射电子枪灯灯丝丝决决定定因因素素：优于优于优于优于磁透镜旋转对称的磁场对电子束有聚焦作用，能使电子束聚焦成像。产生这种旋转对称非均匀磁场的线圈装置就是磁透镜磁透镜.SEM工作原理电子束与样品的相互作用 电子束和样品的作用有两类，一为弹性碰撞，几乎没有损失能量，另一为非弹性碰撞，入射电子束会将部份能量传给样品，而产生二次电子、背散射电子、俄歇电子、X射线光电子、长波电磁放射、电子-空位对等。SEM中主要研究的有二次电子、背向散射电子、X射线光电子。二次电子二次电子(SecondaryElectrons
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